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PVD技术出现于20世纪70年代末期.主要应用于整体硬质合金刀具和高速钢刀具的表面处理。与CVD工艺相比.PVD工艺沮度低(最低可低至80t),在‘3If:℃以下时对刀其材料的抗有强度荃本无影晌,薄腆内部应力状态为压应力,更适于对硬质合金精密复杂刀具的涂层.PVD工艺对环境无不利影响.由于其工艺处理沮度可控制在500℃以下.因此可作为最终处理工艺用于高速俐类刀其的涂层。PVD工艺可大幅度提高高速钢刀其的切削性能.所以该项技术在80年代得到迅速推广应用。在高速钢基体上刀具涂层多为TiN,一般用于钻头、丝锥、铣刀、滚刀等复杂刀具上.涂层厚度为几傲米,涂层硬度可达80HRC.相当于一般硬质合金的硬度,耐用度可提高2-5倍.切削速度可提高20%-40%.
I'VD徐层原理如用7-8所示.PVD在工艺上主要有真空阴极弧物理燕发和真空磁控离子溅射两种方式。
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